【AI音声版】【エレクトロニクス】ALD成膜プロセス入門：飽和と成長量を測り供給・パージ時間を決める
講師：【監修】株式会社イーコンプライアンス 代表取締役 村山 浩一 ／ ご注文から1時間程度でご視聴いただけます
ALDのレシピを組み立て膜厚を合わせ込む ALDの1サイクル（原料供給・パージ・反応ガス供給・パージ）の意味を押さえ、飽和の確かめ方、1サイクルあたりの成長量の測り方、供給時間とパージ時間の決め方を順に練習します。条件が合わないときの切り分けと、記録の残し方まで持ち帰れる講座です。 【対象】成膜・薄膜プロセスに配属されたばかりの方、ALDをこれから使う方 【収録時間】約60分（予定・スライド約65枚・日本語字幕つき） 【内容】 ・第1章 ALDが向く場面と他の成膜との違い ・第2章 1サイクル4段階と膜が育つ仕組み ・第3章 成長量と飽和を測って確かめる ・第4章 供給時間・パージ時間の決め方の例 ・第5章 温度の範囲と原料・反応ガスの目安 ・第6章 段差や穴への付き回りの確認手順 ・第7章 つまずきやすい点と原因の切り分け ・第8章 明日からの試作計画と記録の残し方 ※ ご注文から1時間程度でご視聴いただけます。 ※ 本動画の音声は、AIによる合成音声です。
収録内容
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