【AI音声版】【エレクトロニクス】ドライエッチング条件表と断面観察：形状不良の原因を絞り、次の条件を決める
講師：【監修】株式会社イーコンプライアンス 代表取締役 村山 浩一 ／ ご注文から1時間程度でご視聴いただけます
エッチング断面の崩れを条件表から見立てる ドライエッチングの条件表と断面観察を結び付けて読めるようになることを狙います。プラズマで削る仕組み、装置の主な構成、選択比や異方性といった指標の意味を押さえたうえで、テーパやボーイングなど形の崩れから原因の当たりを付け、次に変える条件を一つずつ確かめる手順まで練習します。 【対象】半導体前工程やエッチング装置の運用・保守・材料供給に配属された方 【収録時間】約60分（予定・スライド約65枚・日本語字幕つき） 【内容】 ・第1章 なぜ液でなく気体とプラズマで削るのか ・第2章 装置の主な構成と中で起きること ・第3章 条件表の用語と主なパラメータを読む ・第4章 選択比・異方性・速度を測って比べる ・第5章 断面写真から削れ方を言葉にする ・第6章 テーパ・残渣・ダメージの見分け方 ・第7章 終点検出とログで異常に早く気づく ・第8章 明日からやる記録・相談・条件出しの型 ※ ご注文から1時間程度でご視聴いただけます。 ※ 本動画の音声は、AIによる合成音声です。
収録内容
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