【AI音声版】EUVレジストの評価データを読み解く力
講師：【監修】株式会社イーコンプライアンス 代表取締役 村山 浩一 ／ ご注文から1時間程度でご視聴いただけます
配属直後の方に向けて、EUVリソグラフィでパターンができるまでの流れと、レジストに求められる性質を平易に整理します。感度・解像度・ラフネスの関係やばらつきの考え方を押さえ、評価データや社内資料の数値を自分の言葉で説明し、次に調べるべき原典にたどり着けるようになることを目指します。 【対象】半導体材料・プロセス部門に配属間もない方、これから学ぶ方 【収録時間】約60分（予定・スライド約65枚・日本語字幕つき） 【内容】 ・第1章 なぜ微細化でEUVが要るのか ・第2章 露光からパターン形成までの流れ ・第3章 レジストに求められる性質の整理 ・第4章 化学増幅型が働くしくみを平易に ・第5章 メタル系材料とドライ処理の考え方 ・第6章 ばらつきと確率的欠陥の捉え方 ・第7章 評価データの読み方と伝え方 ・第8章 明日から始める確認手順と学び方 ※ ご注文から1時間程度でご視聴いただけます。 ※ 本動画の音声は、AIによる合成音声です。
収録内容
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